气溶胶光度计扫描法和粒子计数器扫描法的适用洁净室等级，需结合洁净室分级标准（如ISO 14644 - 1、GB 50073 - 2013）及检测原理的灵敏度差异来划分，具体适用范围如下： ### 气溶胶光度计扫描法适用等级 - **核心适用范围**：主要适用于ISO 5级（百级）至ISO 8级（十万级）洁净室，对应中国标准A级至D级中的B级及以下场景，尤其适配**H13级及以下高效过滤器（HEPA）** 的检漏。 - **典型应用场景**：半导体行业中对微小粒子控制要求中等的环节（如封装测试车间）、制药行业非无菌制剂车间（B级/D级）等。 - **适配逻辑**：该方法通过检测气溶胶质量浓度计算泄漏率，灵敏度为**泄漏率≤0.01%** ，可满足中高洁净度对过滤器整体密封性的常规检测需求。但受限于质量浓度检测原理，难以精准捕捉0.1μm以下的超微小粒子泄漏，因此不适用于对极致洁净度要求的场景。 ### 粒子计数器扫描法适用等级 - **核心适用范围**：覆盖ISO 1级至ISO 8级全范围洁净室，尤其在**ISO 1级至ISO 4级（超高洁净度）** 场景中为首选方法，适配**ULPA过滤器（超高效过滤器）** 及H14级以上HEPA过滤器的检漏。 - **典型应用场景**：半导体晶圆制造（如14nm及以下制程的光刻车间）、生物医药A级动态洁净室（无菌制剂灌装区）等。 - **适配逻辑**：该方法直接计数特定粒径粒子（最小可检测0.1μm），能精准计算微小粒子的穿透率，合格标准为**穿透率≤3倍过滤器出厂值**（如ULPA过滤器出厂效率99.999%，实测穿透率需≤0.003%）。其高灵敏度可满足超高洁净度场景对超微小粒子泄漏的严格管控，同时也可向下兼容中低洁净度检测（需调整粒子浓度阈值）。 ### 关键差异与选择依据 | 对比维度 | 气溶胶光度计扫描法 | 粒子计数器扫描法 | |----------------|--------------------------|--------------------------| | 最小可检粒径 | 约0.3μm（质量浓度换算） | 0.1μm（直接计数） | | 泄漏率限值 | ≤0.01% | ≤3倍出厂穿透率（通常≤0.003%） | | 优势场景 | 中高洁净度（ISO 5 - 8级）、HEPA过滤器常规检漏 | 超高洁净度（ISO 1 - 4级）、ULPA过滤器精准检漏 | | 局限性 | 无法精准检测0.1μm以下粒子泄漏 | 需控制上游粒子浓度（≥0.1μm粒子需≥3.5×10^6粒/L），检测效率较低 |